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平板显示净化解决方案

先进的生产方法通常要求非常洁净的空气环境,很多情况下,空气要求还可能更加严格。LED和薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD) 的生产工艺较复杂,技术难度和成本均较高,对生产环境要求也较高,其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路生产工艺相似;

平板显示的特点是:这种显示的装置本身就是一块平板,没有一般显示器中的电子束管,作为大屏幕显示时不存在投射距离问题,因此,是一种比较理想的显示。由于它多采用矩阵控制,所以又叫做矩阵控制平板显示或简称为矩阵显示。它所控制的显示材料有:场致发光材料、发光二极管、等离子、液晶等。

平板显示的生产工艺对环境的空气洁净度等级、温湿度、防微振和高纯物质的供应等均有较严格的要求:生产环境要有一万级到十万级的净化车间,并且对温度和湿度都有明确控制;各洁净室空气洁净度等级:控制粒子粒径为0.3μm。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘、 微细盐粒子

空气

造成光学镜片雾

洁净室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU加化学滤网

 

部分成交客户

 

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